【手机中国往事】9月15日 ,无需手机中国留意到 ,光刻国科天眼查App展现 ,机中技公经恳上海创消新技术睁开有限公司恳求的司已“5纳米芯片制作的直接蚀刻措施”专利宣告。摘要展现 ,求制该缔造波及芯片妄想及制作 ,作专妄想是芯片 :按5nm蚀刻线宽妄想芯片邦畿 ,妄想蚀刻掩模版后 ,无需用激光直写光刻机刻出蚀刻掩模版;晶圆豫备好后将蚀刻掩模版紧靠晶圆上概况,光刻国科用等离子体妨碍干法蚀刻,机中技公经恳蚀刻停止后移去蚀刻掩模版
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5nm芯片无需光刻机!中国科技公司已经恳求制作专利
字号+ 作者:Dawn Nixon网 来源:娱乐 2025-03-05 12:15:40 我要评论(0)
原问题:5nm芯片无需光刻机!中国科技公司已经恳求制作专利【手机中国往事】9月15日,手机中国留意到,天眼查App展现,上海创消新技术睁开有限公司恳求的“5纳米芯片制作的直接蚀刻措施”专利宣告。摘要展